Электронная, зондовая и оптическая микроскопия
Автоэмиссионный растровый электронно-ионный (FIB) микроскоп Scios
Прибор предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках c высококим разрешением, в том числе в низковольном режиме и режиме торможения пучка, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии, благодаря наличию четырех типов детекторов позволяет получать изображения в разных контрастах в режиме реального времени, а также решение задач ионной литографии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления и штатный манипулятор EasyLift.
Загрузка прибора (%):
80
Загрузка прибора по дням (не менять):
2022/04/19,2022/04/20,2022/04/21,2022/04/22,2022/04/25,2022/04/26,2022/04/27,2022/04/28,
Пример исследования:
Пример ионной литографии хиральной плазмонной структуры в свободноподвешенной пленке серебра.
Технические характеристики:
|
Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения
|
не хуже 1 нм
|
|
Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения
|
не хуже 5 нм
|