Электронная, зондовая и оптическая микроскопия
Растровый электронно-ионный микроскоп FIB Quanta 200 3D
Предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках, элементный и кристаллографический анализ образцов, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления, 2 манипулятора фирмы Kleindeik, систему рентгеновского микроанализа и дифракции обратно рассеянных электронов (Genesys) фирмы EDAX, режим низкого вакуума и естественной среды.
Загрузка прибора (%):
50
Загрузка прибора по дням (не менять):
2022/04/18,2022/04/19,2022/04/20,2022/04/21,2022/04/25,2022/04/26,2022/04/27,
Пример исследования:
Микрофотография поперечного среза, (полученного с помощью ионного пучка), пористого кремния.
Микрофотография насекомого.
Технические характеристики:
|
Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения
|
не хуже 3 нм
|
|
Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения
|
не хуже 10 нм
|
|
Разрешение рентгеновского спектрометра EDAX
|
129 эВ
|
Дополнительные фото:
Загрузить