Изготовление наноразмерных изделий методом резки ионным пучком в растровом электронном микроскопе, «сварка» объектов (в том числе наноразмерных систем), создание электрических контактов между наноразмерными материалами различной природы
Изготовление наноразмерных изделий методом резки ионным пучком в растровом электронном микроскопе, «сварка» объектов (в том числе наноразмерных систем), создание электрических контактов между наноразмерными материалами различной природы
Приборы:
Автоэмиссионный растровый электронно-ионный (FIB) микроскоп Scios / Растровый электронно-ионный микроскоп FIB Quanta 200 3D