Приборы

Растровый электронно-ионный микроскоп FIB Quanta 200 3D
FEI, США, 2006

Предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках, элементный и кристаллографический анализ образцов, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления, 2 манипулятора фирмы Kleindeik, систему рентгеновского микроанализа и дифракции обратно рассеянных электронов (Genesys) фирмы EDAX, режим низкого вакуума и естественной среды.

Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения не хуже 3 нм
Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения не хуже 10 нм
Разрешение рентгеновского спектрометра EDAX 129 эВ

Рисунок 1
Микрофотография поперечного среза, (полученного с помощью ионного пучка), пористого кремния.


Рисунок 2
Микрофотография насекомого.

Календарь загрузки прибора
11 - в эти дни прибор занят
22 - в эти дни прибор свободен
22 - нерабочие дни