Методы

Автоэмиссионный растровый электронно-ионный (FIB) микроскоп Scios
FEI, США, 2015

Прибор предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках c высококим разрешением, в том числе в низковольном режиме и режиме торможения пучка, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии, благодаря наличию четырех типов детекторов позволяет получать изображения в разных контрастах в режиме реального времени, а также решение задач ионной литографии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления и штатный манипулятор EasyLift.

Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения не хуже 1 нм
Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения не хуже 5 нм

Рисунок 1
Пример ионной литографии хиральной плазмонной структуры в свободноподвешенной пленке серебра.

Календарь загрузки прибора
11 - в эти дни прибор занят
22 - в эти дни прибор свободен
22 - нерабочие дни