Автоэмиссионный растровый электронно-ионный (FIB) микроскоп Scios
FEI, США, 2015
Прибор предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках c высококим разрешением, в том числе в низковольном режиме и режиме торможения пучка, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии, благодаря наличию четырех типов детекторов позволяет получать изображения в разных контрастах в режиме реального времени, а также решение задач ионной литографии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления и штатный манипулятор EasyLift.
| Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения | не хуже 1 нм |
| Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения | не хуже 5 нм |
Пример ионной литографии хиральной плазмонной структуры в свободноподвешенной пленке серебра.
Календарь загрузки прибора
| 11 | - в эти дни прибор занят |
| 22 | - в эти дни прибор свободен |
| 22 | - нерабочие дни |