Методы

Исследовательский комплекс NtegraPrima для атомно-силовой микроскопии
NTMDT, Россия, 2006

Нанолаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предназначенная для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением, измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердых тел с разным типом проводимости, наноструктур и биологических объектов, а также для диагностики локальных физических свойств.

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY 0,001-80 мкм
Диапазон измерения линейных размеров в Z направлении 10 мкм
Нелинейность в плоскости XY 0,66 %
Неортогональность в Z направлении 0,37 градуса
Разрешение в плоскости XY 0,014 нм
Реально-контролируемая разрешающая способность в плоскости XY 2 нм
Разрешение по оси Z 0,118 нм

Рисунок 1
АСМ-запись регулярных доменных структур на тонких монокристаллических пленках ниобата лития и их визуализация в режиме микроскопии пьезоотклика

Календарь загрузки прибора
11 - в эти дни прибор занят
22 - в эти дни прибор свободен
22 - нерабочие дни