Исследовательский комплекс NtegraPrima для атомно-силовой микроскопии
NTMDT, Россия, 2006
Нанолаборатория, созданная для решения широкого спектра задач в области атомно-силовой микроскопии (АСМ), предназначенная для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением, измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердых тел с разным типом проводимости, наноструктур и биологических объектов, а также для диагностики локальных физических свойств.
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY | 0,001-80 мкм |
Диапазон измерения линейных размеров в Z направлении | 10 мкм |
Нелинейность в плоскости XY | 0,66 % |
Неортогональность в Z направлении | 0,37 градуса |
Разрешение в плоскости XY | 0,014 нм |
Реально-контролируемая разрешающая способность в плоскости XY | 2 нм |
Разрешение по оси Z | 0,118 нм |
АСМ-запись регулярных доменных структур на тонких монокристаллических пленках ниобата лития и их визуализация в режиме микроскопии пьезоотклика
Календарь загрузки прибора
11 | - в эти дни прибор занят |
22 | - в эти дни прибор свободен |
22 | - нерабочие дни |