Исследовательский комплекс Solver Pro M для атомно-силовой микроскопии
НТ-МДТ, Россия, 2010
Предназначен для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением, измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердых тел с разным типом проводимости, наноструктур, а также для диагностики локальных физических свойств.
Предполагает возможность использования следующих методик:
- Контактная атомно-силовая микроскопия (АСМ);
- Микроскопия латеральных сил (МЛС);
- Резонансная АСМ (полуконтактная + безконтактная);
- Метод отображения Фазы;
- Метод модуляции силы;
- Изображение Силы Адгезии;
- Отображение сопротивления растекания;
- Метод зонда Кельвина (МЗК);
- Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ).
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY | 5 нм-100 мкм |
Диапазон позиционирования | 5x5 мм |
Разрешение позиционирования | 5 мкм |
Сканирующая измерительная головка - область сканирования | 100х100х7 мкм (+/-10 %) |
Нелинейность |
не хуже 0,4 % (быстрое направление) 0,5 % (медленное направление) |
Размеры образца | максимальный размер образца до 100 мм в диаметре и до 20 мм по высоте, либо неограниченный с измерительной головкой, используемой в качестве выносной |
Исследование топографии подложек различной конфигурации поверхности.
Изучение тонких полупроводниковых пленок и двумерных ансамблей методами атомно-силовой микроскопии (топография, фазовый контраст, режим модуляции силы, режимы контактного и полуконтактного рассогласования).
Исследование доменной структуры поверхности кристаллов ниобата лития.
Календарь загрузки прибора
11 | - в эти дни прибор занят |
22 | - в эти дни прибор свободен |
22 | - нерабочие дни |