Методы

Исследовательский комплекс Solver Pro M для атомно-силовой микроскопии
НТ-МДТ, Россия, 2010

Предназначен для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением, измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа поверхности твердых тел с разным типом проводимости, наноструктур, а также для диагностики локальных физических свойств.

Предполагает возможность использования следующих методик:

  • Контактная атомно-силовая микроскопия (АСМ);
  • Микроскопия латеральных сил (МЛС);
  • Резонансная АСМ (полуконтактная + безконтактная);
  • Метод отображения Фазы;
  • Метод модуляции силы;
  • Изображение Силы Адгезии;
  • Отображение сопротивления растекания;
  • Метод зонда Кельвина (МЗК);
  • Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ).
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY 5 нм-100 мкм
Диапазон позиционирования 5x5 мм
Разрешение позиционирования 5 мкм
Сканирующая измерительная головка - область сканирования 100х100х7 мкм (+/-10 %)
Нелинейность не хуже 0,4 % (быстрое направление)
0,5 % (медленное направление)
Размеры образца максимальный размер образца до 100 мм в диаметре и до 20 мм по высоте, либо неограниченный с измерительной головкой, используемой в качестве выносной

Исследование топографии подложек различной конфигурации поверхности.

Изучение тонких полупроводниковых пленок и двумерных ансамблей методами атомно-силовой микроскопии (топография, фазовый контраст, режим модуляции силы, режимы контактного и полуконтактного рассогласования).

Исследование доменной структуры поверхности кристаллов ниобата лития.

Календарь загрузки прибора
11 - в эти дни прибор занят
22 - в эти дни прибор свободен
22 - нерабочие дни