НаноСкан-3D. Сканирующий нанотвердомер
ТИСНУМ, Россия, 2014
Прибор для комплексного исследования физико-механических свойств в диапазоне нагрузок до 100 мН. Нанотвердомер оснащен оптическим микроскопом и моторизованным предметным столиком для позиционирования объекта исследования. Высокая степень автоматизации измерений позволяет существенно повысить производительность исследований.
| Режимы измерений |
1. Контактный динамический режим сканирования 2. Индентирование / склерометрия 3. Силовая спектроскопия 4. Динамическое наноиндентирование |
| Диапазон нагрузок | 0,1-100 мН |
| Измеряемые значения твердости | до 80 ГПа |
| Измеряемые значения модуля упругости | до 1000 ГПа |
| Поле сканирования XY | 100 мкм |
| Максимальный перепад высот Z в области сканирования | 10 мкм |
| Шаг по XY | 1,5 нм |
| Шаг по Z | 0,15 нм |
| Кантилевер | пьезо-кантилевер |
| Инденторы | алмазная пирамида типа Берковича |
| Оптическая система высокого разрешения | видеомикроскоп с регулировкой увеличения 260х-1800х |
| Размер образцов |
до 100х100 мм до 80 мм по высоте до 3 кг по весу |
| Система позиционирования образцов |
XY: до 100 мм с шагом 1 мкм, моторизованная Z: до 80 мм с шагом 40 нм, моторизованная |
Метод склерометрии применяется для измерения твердости исследуемых образцов. После нанесения царапины заданной нагрузки, производится сканирование области образца с царапиной. По ширине царапины определяется локальная твердость образца.
Царапина на образце сапфира, прошедшего отжиг в вакууме. Величина нагрузки 6 мН.
После предварительного сканирования поверхности выбирается интересующая область и производится нагружение, которое прекращается при достижении заданной величины нагрузки. Во время нагружения производится запись величины нагрузки от глубины внедрения индентора в образец P(h). По этой зависимости можно определять, например, толщины пленок и их механические характеристики.
Кривая нагружения образца сапфира с пленкой AlN.
Наноскан-3D позволяет создавать на поверхности упорядоченные структуры, осуществляя т.о. нанолитографию.
Серия царапин на поверхности сапфира.
Профиль полученной поверхности.
Календарь загрузки прибора
| 11 | - в эти дни прибор занят |
| 22 | - в эти дни прибор свободен |
| 22 | - нерабочие дни |