Растровый электронно-ионный микроскоп FIB Quanta 200 3D
FEI, США, 2006
Предназначен для решения большого спектра задач в материаловедении, таких как: получение микроскопических изображений в электронных и ионных пучках, элементный и кристаллографический анализ образцов, локальное травление и приготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии. Содержит электронную и ионную колонны, системы для локального напыления, 2 манипулятора фирмы Kleindeik, систему рентгеновского микроанализа и дифракции обратно рассеянных электронов (Genesys) фирмы EDAX, режим низкого вакуума и естественной среды.
| Разрешение электронной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения | не хуже 3 нм |
| Разрешение ионной пушки при 30 кВ ускоряющего напряжения | не хуже 10 нм |
| Разрешение рентгеновского спектрометра EDAX | 129 эВ |
Микрофотография поперечного среза, (полученного с помощью ионного пучка), пористого кремния.
Микрофотография насекомого.
Календарь загрузки прибора
| 11 | - в эти дни прибор занят |
| 22 | - в эти дни прибор свободен |
| 22 | - нерабочие дни |