Установка МЛЭ (является УНУ)
ИК РАН-Pfeiffer Vacuum GmbH, Россия-Германия, 2013 (модерн.)
Календарь загрузки прибора
| 11 | - в эти дни прибор занят |
| 22 | - в эти дни прибор свободен |
| 22 | - нерабочие дни |