Зондовая станция LA150DC
SemiProbe, США, 2020
Станция предназначена для решения широкого спектра научных задач при исследовании электрических свойств материалов (металлы, полупроводники, диэлектрики):
- исследования вольт-амперных характеристик полупроводниковых элементов: диодов, полевого и биполярного транзистора и др.;
- исследование проводимости материалов 2-х и 4-х зондовым способом;
- исследование вольт-амперных характеристик фото-вольтаических ячеек и солнечных элементов.
| X-Y-Z стол | |
| Перемещение X-Y |
регулируемый магнитный суппорт для грубой регулировки |
| Перемещение Z | 20 мм с микрометрическим приводом контакта/разделением |
| Регулировка угла | грубая 360°, точная 10° |
| Привод стола | ручной |
| Тринокулярный микроскоп Motic SMZ-168 | |
| Диапазон перемещения | 100х100 мм |
| Объектив | 100х (6,7:1) |
| Рабочее расстояние | 100 мм |
| Манипулятор MA 8005 | |
| Диапазон движения X-Y-Z | 8 мм |
| TPI | 50 TPI |
| Источник-измеритель Keithley 2612B | |
| Разрядность | 6½ |
| Максимальная выходная мощность на канал | 30,3 Вт |
| Схема источник/электронная нагрузка | четырехквадрантная |
| Минимальная программируемая ширина импульса | 100 мкс |
| Разрешение при программировании импульса | 1 мкс |
| Точность при программировании импульса | ±5 мкс |
| Пределы установки напряжения | 200 мВ, 2 В, 20 В, 200 В |
| Точность программирования напряжения | 0,02% |
| Максимальное разрешение программирования напряжения | 5 мкВ |
| Диапазон установки силы тока | От 100 нА до 10 А |
| Базовая точность программирования силы тока | 0,03% |
| Максимальное разрешение программирования силы тока | 2 пА |
Выходные вольт-амперные характеристики полевого (n-канальный) 2SK30A транзистора.
Выходные вольт-амперные характеристики биполярного (n-p-n) PN2222A транзистора.